Параметры | Стандартные значения |
Диаметр | ~ 1 – 15 мм |
Допуск на диаметр | ± 0.005 мм |
Толщина центра | ~ 1 – 10 мм |
Допуск по толщине центра | ± 0.03 мм |
Отклонение | Fig PV ≤ 0.5 мкм |
Acc PV ≤ 0.2 мкм | |
AS ≤ 0.15 мкм | |
Смещение центра | ≤ 5 мкм |
Угол наклона | ≤ 60″ |
Шероховатость поверхности | ≤ 5 нм |
В статье исследуется, как изменения параметров в методах обработки поверхности подложек приводят к изменениям в процессах адгезии, подчеркивая особенности взаимодействия между методами обработки серной кислотой и УФ-излучением, используя изображения, полученные с помощью интерферометры белого света.
г. Санкт-Петербург, улица Савушкина 83, корп. 3