Погрешности при точном позиционировании
Ошибки при позиционировании можно разделить на две группы: ошибки, допущенные при изготовлении прибора (приборные погрешности) и неточности, относящиеся к снятию отсчетов, случайные ошибки. Понимание источников этих ошибок может помочь в разработке стратегий для их предотвращения и исправления, позволит повысить качество оптической системы. В статье приведены основные характеристики, применяемые для описания ошибок в устройствах позиционирования, линейный трансляторах Edmund Optics.
Характеристика разрешения
По характеристике разрешения определяется наименьшее изменение расстояния, допустимого конструкцией прибора. Это важная характеристика устройств позиционирования, необходимая для плавного перемещения компонентов. Однако характеристика разрешения не определяет точности, поскольку рассчитывается отдельно. Эта величина зависит от технической спецификации контроллера, двигателя (при наличии) и механики, например, в позиционирующих устройствах Edmund Optics используются двигатели с микрошаговыми приводами. Они имеют высокое разрешение, необходимое для точного и плавного перемещения компонентов.
Характеристика точности
При перемещении между любыми двумя точками в диапазоне перемещения, характеристика точности перемещения позволяет определить наибольшее отклонение между теоретически и фактически пройденными расстояниями. Из практики известно, что при перемещении на короткие расстояния случайную погрешность можно заметно снизить.
Рисунок 1. Характеристика точности перемещения линейного транслятора Zaber™
Воспроизводимость
Воспроизводимость результатов - лучший показатель точности устройства позиционирования, у позиционирующих устройств определяется отклонением положения, если к нему несколько раз подводятся с одной и той же стороны. В спецификации к линейным трансляторам Zaber ™ указывается максимально возможное значение.
Мертвый ход
Для обеспечения перемещения механические узлы имеют небольшие зазоры (или люфты). При изменении направления эти зазоры создают небольшое провисание, мертвый ход, который необходимо компенсировать. Источник погрешности мертвого хода легко выявить и устранить, например, совершая только однонаправленное движение в том направлении, в котором замечен мертвый ход. Другой способ - приложить небольшую продольную силу, которая подтолкнет столик к одной из сторон зазора. Если позиционирующее устройство расположить вертикально, сила тяжести компенсирует люфт.
© Эдмунд Оптикс
Компания INSCIENCE помогает своим заказчикам решать любые вопросы и потребности по продукции Edmund Optics на территории РФ
В статье исследуется, как изменения параметров в методах обработки поверхности подложек приводят к изменениям в процессах адгезии, подчеркивая особенности взаимодействия между методами обработки серной кислотой и УФ-излучением, используя изображения, полученные с помощью интерферометры белого света.
г. Санкт-Петербург, улица Савушкина 83, корп. 3