Для высокопрецизионных задач важно учитывать основные характеристики точности используемых приборов и компонентов оптической схемы. В этой статье описываются параметры точности позиционирования и работы, а также методы их численного определения, для моторизированных линейных трансляторов компании OptoSigma.
Определение точности позиционирования
Точность позиционирования | Холостой ход |
|
|
Позиционирование выполняется последовательно от исходного положения в одном направлении с фиксированным интервалом во всем диапазоне перемещения. Вычисляется разница между целевыми и измеренными значениями в каждой из точек позиционирования, и разница между минимальным и максимальным значениями принимается за точность позиционирования. |
Позиционирование выполняется несколько раз в направлениях (+) вперед и (-) назад из любого положения предметного столика (например, на обоих концах или в центральной точке), и вычисляется среднее значение величины отклонения относительно положения остановки. Максимальное числовое значение считается холостым ходом. |
Повторяемость позиционирования | Люфт |
|
|
Позиционирование выполняется несколько раз в одном и том же направлении из любого положения предметного столика (например, на обоих концах или в центральной точке), и вычисляется максимальное значение величины отклонения по отношению к положению остановки. Максимальное из этих числовых значений считается повторяемостью (стабильностью) позиционирования. |
Фиксированная нагрузка применяется в направлении (+) прямом или (-) обратном в любом положении предметного столика (например, на обоих концах или в центральной точке). Суммарное отклонение в соответствующем направлении считается люфтом. |
Определение рабочей точности
Параллельность хода | Ортогональность движения |
Рабочее смещение оси Y относительно оси X от прямого угла XY-транслятора принимается за ортогональность движения. |
|
Перпендикулярность движения | |
Максимальное смещение стола в вертикальном направлении при движении столика за полный ход принимается за параллельность хода. |
Перпендикулярность движения измеряется при помощи индикатора часового типа, который помещают на Z-транслятор. Смещение относительно циферблата принимается за перпендикулярность движения. |
Результаты измерений для модели OSMS20-35
Максимальный холостой ход |
1.10 мкм |
Средний холостой ход |
0.62 мкм |
Стабильность позиционная Однонаправленное позиционирование ↑ |
0.77 мкм |
Точность позиционирования |
2.97 мкм |
Максимальная ошибка на оборот |
2.60 мкм |
Момент жесткости (Pitch (тангаж) /Yaw (рыскание) /Roll (крен))
Момент жесткости — это способность транслятора сопротивляться деформации нагрузки, приложенной к точке, удаленной от центра поверхности столика. Численно этот момент указывает степень наклона поверхности столика (в угловых секундах) при приложении нагрузки в 1 Н к точке, находящейся на расстоянии 1 см от центра поверхности платформы (центр лицевой стороны транслятора не совпадает с его центром тяжести).
Pitch / Тангаж |
Yaw / Рыскание |
Roll / Parallelism / Параллелизм |
Тангаж — это угловое смещение поверхности столика в направлении шага транслятора во время движения. Он указывает на максимальное угловое смещение за полный ход. |
Рыскание — это угловое смещение поверхности столика в направлении рыскания во время движения платформы. Он указывает на максимальное угловое смещение за полный ход. |
Параллелизм указывает на параллельность столика, закрепленного на трансляторе, относительно плоскости основания. |
Результаты измерений точности XY трансляторов серии OSMS
Минимальное инкрементное движение
Минимальное инкрементное движение (МПД) – это наименьшее приращение движения, которое устройство способно выполнять последовательно и надежно. МПД определяется как приращение, при котором транслятор точно позиционируется в любых трех положениях (в центре и на концах).
Для определения МПД платформа точно позиционируется в трех позициях в положительном направлении и в 10 точках в отрицательном направлении для линейного транслятора. И экспериментально находят чувствительность транслятора. Для наблюдения минимального инкрементного движения линейных платформ используется емкостной датчик.
Минимальное инкрементное движение модели HST-50X
©OptoSigma
Компания INSCIENCE помогает своим заказчикам решать любые вопросы и потребности по продукции OptoSigma на территории РФ
В статье приводится применение и основные параметры пикосекундных лазеров. Сравниваются лазеры Inngu Laser серии GXP с известными европейскими и американскими производителями.
г. Санкт-Петербург, улица Савушкина 83, корп. 3