Главная / Оборудование / Time Tech Spectra / Оптический контроль полупроводников

Оптический контроль полупроводников

Системы контроля дефектов DISPEC-8000/9000

Системы серии DISPEC предназначены для автоматизированного неразрушающего контроля дефектов в подложках и эпитаксиальных слоях SiC. Комплексы обеспечивают высокоточную локализацию, идентификацию и классификацию различных типов кристаллографических дефектов.

  • Неразрушающий контроль SiC-пластин и эпитаксиальных слоёв

  • Обнаружение и классификация дефектов

Система сверхбыстрой переходной спектроскопии TAU-900

Система TAU-900 предназначена для исследования динамики носителей заряда в полупроводниковых материалах методом сверхбыстрой переходной спектроскопии. Комплекс позволяет измерять время жизни неосновных носителей заряда и проводить характеризацию материалов для фотоэлектрических, оптоэлектронных и силовых полупроводниковых устройств.

  • Метод сверхбыстрой переходной спектроскопии

  • Неразрушающая характеризация образцов

  • Исследование полупроводниковых материалов