Точность моторизированных линейных трансляторов OptoSigma

Для высокопрецизионных задач важно учитывать основные характеристики точности используемых приборов и компонентов оптической схемы. В этой статье описываются параметры точности позиционирования и работы, а также методы их численного определения, для моторизированных линейных трансляторов компании OptoSigma.

 

 

Определение точности позиционирования

Точность позиционированияХолостой ход

1

2

Позиционирование выполняется последовательно от исходного положения в одном направлении с фиксированным интервалом во всем диапазоне перемещения. Вычисляется разница между целевыми и измеренными значениями в каждой из точек позиционирования, и разница между минимальным и максимальным значениями принимается за точность позиционирования.

Позиционирование выполняется несколько раз в направлениях (+) вперед и (-) назад из любого положения предметного столика (например, на обоих концах или в центральной точке), и вычисляется среднее значение величины отклонения относительно положения остановки. Максимальное числовое значение считается холостым ходом.

Повторяемость позиционированияЛюфт

3

4

Позиционирование выполняется несколько раз в одном и том же направлении из любого положения предметного столика (например, на обоих концах или в центральной точке), и вычисляется максимальное значение величины отклонения по отношению к положению остановки. Максимальное из этих числовых значений считается повторяемостью (стабильностью) позиционирования.

Фиксированная нагрузка применяется в направлении (+) прямом или (-) обратном в любом положении предметного столика (например, на обоих концах или в центральной точке). Суммарное отклонение в соответствующем направлении считается люфтом.

Определение рабочей точности

Параллельность ходаОртогональность движения

5

Рабочее смещение оси Y относительно оси X от прямого угла XY-транслятора принимается за ортогональность движения.

Перпендикулярность движения

Максимальное смещение стола в вертикальном направлении при движении столика за полный ход принимается за параллельность хода.

Перпендикулярность движения измеряется при помощи индикатора часового типа, который помещают на Z-транслятор. Смещение относительно циферблата принимается за перпендикулярность движения.

Результаты измерений для модели OSMS20-35

6

 

Максимальный холостой ход

1.10 мкм

Средний холостой ход

0.62 мкм

Стабильность позиционная 

Однонаправленное позиционирование ↑

0.77 мкм
 0.62 мкм

Точность позиционирования

2.97 мкм

Максимальная ошибка на оборот

2.60 мкм

 

Момент жесткости (Pitch (тангаж) /Yaw (рыскание) /Roll (крен))

Момент жесткости — это способность транслятора сопротивляться деформации нагрузки, приложенной к точке, удаленной от центра поверхности столика. Численно этот момент указывает степень наклона поверхности столика (в угловых секундах) при приложении нагрузки в 1 Н к точке, находящейся на расстоянии 1 см от центра поверхности платформы (центр лицевой стороны транслятора не совпадает с его центром тяжести).

7

 

Pitch / Тангаж

Yaw / Рыскание

Roll / Parallelism / Параллелизм

Тангаж — это угловое смещение поверхности столика в направлении шага транслятора во время движения.

Он указывает на максимальное угловое смещение за полный ход.

Рыскание — это угловое смещение поверхности столика в направлении рыскания во время движения платформы.

Он указывает на максимальное угловое смещение за полный ход.

Параллелизм указывает на параллельность столика, закрепленного на трансляторе, относительно плоскости основания.

 

Результаты измерений точности XY трансляторов серии OSMS

транс

 

Минимальное инкрементное движение

9

Минимальное инкрементное движение (МПД) – это наименьшее приращение движения, которое устройство способно выполнять последовательно и надежно. МПД определяется как приращение, при котором транслятор точно позиционируется в любых трех положениях (в центре и на концах).

Для определения МПД платформа точно позиционируется в трех позициях в положительном направлении и в 10 точках в отрицательном направлении для линейного транслятора. И экспериментально находят чувствительность транслятора. Для наблюдения минимального инкрементного движения линейных платформ используется емкостной датчик.

Минимальное инкрементное движение модели HST-50X

10

©OptoSigma

Компания INSCIENCE помогает своим заказчикам решать любые вопросы и потребности по продукции OptoSigma на территории РФ